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1、
中芯寧波200mm特種工藝(晶圓/芯片)N0項(xiàng)目
環(huán)境影響評價(jià)審批前公示
一、建設(shè)項(xiàng)目概況
項(xiàng)目名稱：中芯寧波200mm特種工藝(晶圓/芯片)N0項(xiàng)目
項(xiàng)目性質(zhì)：新建
建設(shè)單位：中芯集成電路（寧波）有限公司
建設(shè)地點(diǎn)：北侖區(qū)小港安居路335號
項(xiàng)目概況：項(xiàng)目建成投產(chǎn)后產(chǎn)品8英寸晶圓產(chǎn)能可達(dá)15000片/月，項(xiàng)目主要生產(chǎn)工藝包括晶圓裸片→清洗→微影曝光→顯影→去膠→刻蝕→濺鍍→褪火→平坦化（多達(dá)幾十輪循環(huán)，其中涉及純水、特氣、靶材、研磨液、酸堿溶液等物料）→晶圓（未切割芯片）成品等工序。
二、主要影響分析結(jié)論
（1）聲環(huán)境影響分析結(jié)論
預(yù)測結(jié)果表明：通過上述降噪措施后，廠
2、界四周晝夜間噪聲預(yù)測值能夠達(dá)到3類標(biāo)準(zhǔn)。本項(xiàng)目周邊200m內(nèi)均為工業(yè)企業(yè)。因此，本項(xiàng)目生產(chǎn)噪聲對周圍環(huán)境影響不大。
（2）大氣環(huán)境影響分析結(jié)論
根據(jù)《環(huán)境影響評價(jià)技術(shù)導(dǎo)則-大氣環(huán)境》(HJ2.2-2008)估算模式計(jì)算結(jié)果，在落實(shí)污染治理措施的情況下，項(xiàng)目廢氣污染物的最大地面濃度占標(biāo)率Pmax=0.39%，小于10%，項(xiàng)目廢氣正常排放對周圍大氣環(huán)境影響較小。
（3）水環(huán)境影響分析結(jié)論
項(xiàng)目各廢水采取分類收集、分質(zhì)處理、再合并混合處理，CODCr、NH3-N、SS、氟化物、銅等指標(biāo)均可達(dá)到納管標(biāo)準(zhǔn)后，通過標(biāo)準(zhǔn)化排放口排入污水管網(wǎng)，送新周污水處理廠集中處理后排放。項(xiàng)目廢水排放對污水處理廠負(fù)
3、荷沖擊和納污水體影響均較小。廢水產(chǎn)生量為1275.68t/d,可直接納管排放。
三、污染防治措施
項(xiàng)目污染防治措施匯總見下表1。
表1 污染防治措施匯總表
措施名稱
主要內(nèi)容
預(yù)期治理效果
廢氣
酸性廢氣
酸性廢氣處理系統(tǒng)處理達(dá)標(biāo)后25m高排氣筒排放。
滿足GB16297-1996中新污染源二級標(biāo)準(zhǔn)。
堿性廢氣
堿性廢氣處理系統(tǒng)處理達(dá)標(biāo)后25m高排氣筒排放。
滿足GB16297-1996中新污染源二級標(biāo)準(zhǔn)。
有機(jī)廢氣
有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)處理達(dá)標(biāo)后25m高排氣筒排放。
滿足GB16297-1996中新污染源二級標(biāo)準(zhǔn)。
廢水
生產(chǎn)廢水
生
4、活污水
生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理，生產(chǎn)廢水經(jīng)配套的污水處理站處理，廢水處理規(guī)模為1275.68t/d，處理出水經(jīng)廠區(qū)總排口排入污水管網(wǎng)，納管廢水最終經(jīng)新周污水處理廠集中處理后排放。
納管執(zhí)行GB8978-1996三級標(biāo)準(zhǔn)，處理后排放執(zhí)行GB18918-2002一級A標(biāo)準(zhǔn)。
噪聲
車間降噪設(shè)計(jì)
對車間設(shè)置空心隔聲墻、雙層隔音窗戶等，車間日常關(guān)閉門窗生產(chǎn)。
廠界噪聲排放滿足GB12348-2008中3類標(biāo)準(zhǔn)。
設(shè)備合理布局
車間內(nèi)設(shè)備應(yīng)合理布局，高噪聲設(shè)備盡量布置于廠區(qū)中部。
設(shè)備隔聲降噪
對高噪聲的風(fēng)機(jī)，盡量布置在隔聲間內(nèi)，并在風(fēng)機(jī)座基礎(chǔ)減震，安裝彈性襯墊和保護(hù)套；風(fēng)機(jī)進(jìn)出口管
5、路加裝避震喉；對風(fēng)機(jī)安裝隔聲罩或在進(jìn)風(fēng)口安裝消聲器。
強(qiáng)化生產(chǎn)管理
定期檢查設(shè)備，加強(qiáng)設(shè)備維護(hù)，使設(shè)備處于良好的運(yùn)行狀態(tài)，避免和減輕非正常運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲，做到文明生產(chǎn)；對運(yùn)輸車輛加強(qiáng)管理和維護(hù)，保持車輛良好工況，廠內(nèi)應(yīng)該限制車速，禁鳴喇叭，盡量避免夜間運(yùn)輸。
廠界隔聲設(shè)計(jì)
加高、加厚廠界圍墻，并根據(jù)噪聲防治設(shè)計(jì)規(guī)范將廠界圍墻設(shè)計(jì)成隔聲墻。
固廢
一般固廢
廢靶材邊角料收集外售給廢舊物資回收公司；生活垃圾、廢抹布在廠區(qū)內(nèi)定點(diǎn)收集，然后委托當(dāng)?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)至垃圾填埋廠進(jìn)行衛(wèi)生填埋。
資源化，無害化，不造成二次污染。
危險(xiǎn)廢物
部分廢液加入廠區(qū)廢水處理站由企業(yè)自行處理；廢活性
6、碳、廢液、廢包裝材料等危險(xiǎn)廢物需委托有資質(zhì)的危廢處理單位進(jìn)行安全處置。
風(fēng)險(xiǎn)
要求企業(yè)新建一個(gè)不小于32m3的事故應(yīng)急池，以備廠區(qū)內(nèi)發(fā)生事故時(shí)使用，并落實(shí)事故、消防水的收集系統(tǒng)，廠區(qū)所有外排管道均設(shè)置切斷裝置和應(yīng)急設(shè)施，確保一旦意外事故，所有污水均能收集，避免流入附近河道。
四、環(huán)境影響評價(jià)結(jié)論
中芯集成電路（寧波）有限公司“中芯寧波200mm特種工藝(晶圓/芯片)N0項(xiàng)目”位于北侖區(qū)小港安居路335號。項(xiàng)目建設(shè)符合環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃的要求；排放污染物符合國家、省規(guī)定的污染物排放標(biāo)準(zhǔn)，符合總量控制指標(biāo)；造成的環(huán)境影響符合建設(shè)項(xiàng)目所在地環(huán)境功能區(qū)劃確定的環(huán)境質(zhì)量要求；同時(shí)，項(xiàng)目建設(shè)符合主體功能區(qū)規(guī)劃、土地利用規(guī)劃、城鄉(xiāng)規(guī)劃的要求；符合國家和省產(chǎn)業(yè)政策等的要求；符合“三線一單”要求。項(xiàng)目實(shí)施過程中，企業(yè)應(yīng)加強(qiáng)環(huán)境質(zhì)量管理，認(rèn)真落實(shí)環(huán)境保護(hù)措施，采取相應(yīng)的污染防治措施，能使廢水、廢氣、噪聲達(dá)標(biāo)排放，固廢得到安全處置，則本項(xiàng)目的建設(shè)對環(huán)境影響較小，能基本維持當(dāng)?shù)丨h(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀。從環(huán)境保護(hù)角度看，本項(xiàng)目的建設(shè)是可行的。
中芯寧波200mm特種工藝（晶圓芯片）N0項(xiàng)目
